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LEEM-Ⅳ
LEEM-IV
フランジ一体型静電場 LEEM 、磁場型ビーム分離付き
特徴 :
低コスト
操作簡単
完全磁場遮蔽
LEEM/LEED および PEEM 機能を自動制御
空間分解能: < 20 nm
視野: 3-75 μm 、 PEEM の場合は 3-85 μm
オプション :
マニピュレーター
液体窒素冷却機構
準備室
真空システム
Pb layer on W(110) surface, FOV 10 μm
7eV
11eV
28eV
42eV